在线面测厚/面测油污/面测色方案：SPECIM高光谱相机

Specim FX系列高光谱相机是专为工业应用而设计的高光谱相机，可根据目标样品的化学成分获得可靠的分类结果。其高帧频可满足高速工业应用的需求、坚固的结构与小巧的尺寸则便于现场的灵活安装。

产品特征

非接触、非破坏性、在线式

高速成像

宽光谱波段可选

体积小，适合多种空间

具有MROI功能的100% 成像覆盖率

无需校准即可互换

兼容现有和新系统

重量轻，便于运输

随时随地进行软件更新

工作原理

Specim工业高光谱相机，采用线扫描方式，通过传送物体可以检测整个物体表面，相机逐行扫描沿一个方向移动的样品，记录被扫描线上每个像素的光谱信息。

产品应用

1. 在线整面测油污

电极材料（铜箔、铝箔）油污清洁度检测

Specim工业高光谱相机可以检测电极材料微小的油滴或污染情况，油污分布可视化。

2. 在线整面测厚

（1）薄膜厚度检测

Specim FX17高光谱相机可以检测整个薄膜或涂层的厚度。 在每条线扫描数据中，光谱数据能覆盖薄膜的整个宽度，并且有很高的空间分辨率。

（2）晶圆表面污染检测

Specim高光谱相机可以检测污染物，精确测量薄膜厚度（抗蚀剂、氧化物、氮化物等）的面积分布以及表面状况参数。

3. 在线整面测色

Specim高光谱相机在色彩测量准确度上优于人眼和RGB相机，可以采集目标物的反射光谱信息并使用Lab颜色空间来分析光谱信息，可用于精确识别和量化物体中存在的颜色，包括人眼可能无法察觉的细微颜色变化。在可见光区域，可以实现非常高的颜色分离度。Specim高光谱相机可以非破坏式测量色彩并进行快速实时分析，自动化工作流程，支持测量颜色、对比度和亮度。