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光刻机

电子束光刻机

电子束光刻机

电子束光刻机采用场发射电子枪，配合一体化的高速图形发生系统实现对半导体晶圆的高速、高分辨光刻。...

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无掩模光刻机

无掩模光刻机

无掩模光刻机不需要使用传统的物理掩膜版来转移电路图形，而是通过计算机控制的高精度光束直接在感光材料上进行扫描曝光...

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